Analysis of multi-layered Surface with Glow Discharge-Mass Spectrometry

Pak, Yong-Nam; 박용남; Lee, Gae-Ho; 이계호; Kim, Hyo Jin; 김효진

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P-ISSN1225-0163
E-ISSN2288-8985
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P-ISSN 1225-0163
E-ISSN 2288-8985

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10권 5호

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글로우방전 질량분석법을 이용한 다층박막의 표면 분석

Analysis of multi-layered Surface with Glow Discharge-Mass Spectrometry

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985

1997, v.10 no.5, pp.357-361

박용남
이계호
김효진

박용남, 이계호, & 김효진. (1997). 글로우방전 질량분석법을 이용한 다층박막의 표면 분석. , 10(5), 357-361.

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초록

Griemm 형태의 글로우방전셀을 상업용 사중극자 ICP-MS에 장착시켜 다층박막의 표면 분석을 시도하였다. 지름이 2.0mm인 양극과 적절한 실험 최적 조건을 사용한 결과 ${\mu}m$ 두께의 여러층들을 30여 분 이내에 분석할 수 있었다. Cu-Ni 및 Fe-Ni의 다층막을 GDMS로 분석한 결과 10nm정도의 분해능이 가능하였으며, 이는 바닥이 평평한 crater를 얻을 수 있는 실험조건에서 측정하였기 때문이다.

keywords: glow discharge, glow discharge mass spectrometry, depth profile study, multi-layer profile study

Abstract

A Griemm type Glow Discharge cell is attached to a commercial quadrapole based ICP-MS and used for the analysis of surface analysis. By employing 2.0mm diameter, mode and proper experimental conditions, several layers of few ${\mu}m$ thickness are analysed within 30 minutes. Multi-layers of Cu-Ni, Fe-Ni are analyzed with the resolution of 10nm by GDMS. Proper experimental conditions make a flat bottom crater shape and good resolution for multi-layer depth profile study.

keywords: glow discharge, glow discharge mass spectrometry, depth profile study, multi-layer profile study

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