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7권 3호
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X-선 광전자 분광법 및 라더포드 후방산란법에 의한 개질된 고분자 시료의 표면분석

Surface Analysis of Modified Polymer Samples by X-Ray Photoelectron Spectroscopy and Rutherford Backscattering Spectroscopy

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
1994, v.7 no.3, pp.301-313
박성우
김동환
김영만
박병선
한완수
서배석
박성우, 김동환, 김영만, 박병선, 한완수, & 서배석. (1994). X-선 광전자 분광법 및 라더포드 후방산란법에 의한 개질된 고분자 시료의 표면분석, 7(3), 301-313.

초록

X-선 광전자분광법(XPS)과 라더포드 후방산란법(RBS)은 첨가제 분석, 화학구조 규명은 물론 시료 표면 원소의 정성 및 정량, 결합에너지 준위, 수직분포 분석을 통한 동일성 판정 등에 응용할 수 있다. $XeF_2$와 C-F plasma로 표면을 처리한 polyethylene, acrylonitrile butadien rubber, polypropylene, glass, fiber 및 paper를 XPS와 RBS로 분석한 결과 불소원자가 시료의 표면에 침투한 것을 확인할 수 있었으며, 표면 원소의 분포가 미처리된 시료의 표면원소 분포와 차이가 있었다.

keywords
X-Ray Photoelectron Spectroscopy and Rutherford Backscattering Spectroscopy, surface analysis

Abstract

X-Ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) and Rutherford Backscattering Spectroscopy(RBS) are used for the analysis of additives, examination of chemical structure and determination of identity with qualitative and quantitative analysis of surface elements, binding energy level and depth profiling in the surface. We analyzed surface of polyethylene, acrylonitrile butadien rubber, polypropylene, glass, fiber and paper treated with $XeF_2$ or C-F plasma by XPS and RBS. It was found that fluoro element was penetrated to sample surface and the distribution of surface elements are different than untreated samples.

keywords
X-Ray Photoelectron Spectroscopy and Rutherford Backscattering Spectroscopy, surface analysis

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