The Characterization of Structural and Optical Properties for rf Magnetron Sputtered <TEX>$(BaSr)TiO_3$</TEX> Thin Film

Kim, Tae-Song; 김태송; Oh, Myung-Hwan; 오명환; Kim, Chong-Hee; 김종희

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P-ISSN1225-0163
E-ISSN2288-8985
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E-ISSN 2288-8985

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6권 2호

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Rf Magnetron Sputtering 방법에 의하여 제조된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 구조적, 광학적 특성 고찰

The Characterization of Structural and Optical Properties for rf Magnetron Sputtered $(BaSr)TiO_3$ Thin Film

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985

1993, v.6 no.2, pp.239-246

김태송
오명환
김종희

김태송, 오명환, & 김종희. (1993). Rf Magnetron Sputtering 방법에 의하여 제조된 <TEX>$(BaSr)TiO_3$</TEX> 박막의 구조적, 광학적 특성 고찰. , 6(2), 239-246.

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초록

ITO coated glass, bare glass, 그리고 (100)Si 기판 위에 증착된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 구조는 기판의 종류에 관계없이 변하지 않았으나 결정성은 다결정 ITO층과 (100)Si 기판에 있어서 증대되었다. ITO coated glass 기판 위에 증착된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 조성은 거의 화학양론적으로 일치하였으며 ((Ba+Sr)/Ti

keywords: ITO coated glass, <TEX>$(BaSr)TiO_3$</TEX>

Abstract

The structure of $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass, bare glass and (100) Si substrates was not changed, but the crystallinity was improved by the polycrystalline ITO layer and (100) Si substrate. The composition of $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass was nearly stoichiometric ((Ba+Sr)/Ti

keywords: ITO coated glass, <TEX>$(BaSr)TiO_3$</TEX>

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Rf Magnetron Sputtering 방법에 의하여 제조된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 구조적, 광학적 특성 고찰

The Characterization of Structural and Optical Properties for rf Magnetron Sputtered $(BaSr)TiO_3$ Thin Film

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